【半导体设备】债转股入股上海睿励，大基金继续支持本土半导体设备发展

根据企查查网站披露，大基金已于2019年11月25日以3,758.24万元认缴睿励科学仪器（上海）12.12%的股权，2020年1月7日上海睿励已完成工商变更。同期入股上海睿励的投资机构还包括上海盈赢微、上海同祺、海风投资等，四家认缴资金合计1.2亿元。

国家集成电路大基金成为上海睿励的第4大股东。大基金以可转债投资睿励科学仪器（上海）的3,000多万元转股，转股后股权占比12.12%，成为睿励的第4大股东，前三大股东依次是上海浦东新兴产业投资（上海浦东科创集团的全资子公司）、上海盈赢微电子技术有限公司、上海同祺投资管理有限公司，股权比例依次是20.75%、13.99%、12.90%，前四大股东的合计股权占比为59.76%。

上海睿励是我国首家晶圆制程量测设备供应商，膜厚量测设备产品已进入三星、长江存储、华力二期。根据集微网，上海睿励2015年曾获5台三星电子的膜厚量测设备订单，2018年再获1台三星的膜厚量测设备订单，是我国少数几家能够跻身国际一流客户的老牌晶圆制造工艺设备供应商。根据中国国际招标网，上海睿励于2015年4月拿到武汉新芯1台膜厚测量仪订单、2017年10月获得长江存储2台介质薄膜测量系统订单，2019年11月获得上海华力二期1台后段膜厚测量仪设备订单，膜厚测量设备技术实力雄厚。

我国量测设备98%以上被KLA、应用材料、Nanometrics、Hitachi High-Tech、ASML等垄断，国产化率不超过2%。尽管晶圆制造量测环节，我国本土量测设备供应商包括上海精测半导体、深圳中科飞测、上海睿励等三家企业，但根据中国国际招标网，本土晶圆厂的量测设备国产化率不超过2%，绝大部分量测设备来自KLA、应用材料、Nanometrics、Hitachi High-Tech、ASML等国际品牌。

大基金再度出手投资制程设备供应商，表明大基金对设备与材料的支持力度正在增加。根据各公司公告统计，大基金一期仅4.2%的资金投入到装备与材料，其中半导体设备的投资比例为2.7%，半导体材料的投资比例为1.5%，远低于半导体设备与材料的产业链地位，且大基金一期缺乏对晶圆制造中的涂胶显影设备、离子注入机、光刻机等的投资。由此，我们预计大基金二期将进一步丰富半导体设备的投资标的，并加大、提升对半导体设备的投资比例，入股上海睿励就是典型案例。

叠加政策红利、景气周期、国产化，半导体设备行业迎来黄金发展时期。国产半导体设备的行业高成长，将来自全球半导体及设备行业的全面复苏、本土晶圆厂加速扩产、国产设备对进口设备的替代等三大因素，国产半导体设备将迎来全面突破。

投资建议：大基金二期明确要培育中国的AMAT、TEL，我们继续重点推荐北方华创、精测电子、晶盛机电、万业企业、长川科技，建议关注中微公司、至纯科技、芯源微、华峰测控。

风险提示：国内半导体下游客户扩产低于预期；关键部件进口受贸易战影响。

半导体设备系列研究报告，欢迎点击链接：

1、行业篇

《半导体设备行业：12月本土存储厂加快设备采购，膜厚量测、CMP等设备采购量大幅增加》（2019-12-29）

（2019-12-4）

《晶圆厂工艺设备配置情况及国产设备市占率的统计分析》中国半导体设备年会（2019）演讲稿

2、公司篇

2019-9-5